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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件 (2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-179598 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-179658 | 原料供給装置及び成膜装置 | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-179378 | 液処理装置および液処理方法 | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-178071 | 熱処理装置の異常検知装置、熱処理装置及び熱処理装置の異常検知方法、並びに、異常検知方法のプログラム | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-179508 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-175581 | 基板液処理装置および気流異常検出方法 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175051 | マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2014年 9月22日 | 共同出願 |
特開 2014-172696 | ホッパー及び溶射装置 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175510 | 支持部材及び半導体製造装置 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175532 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175357 | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175608 | 基板搬送装置、基板処理装置、基板取出方法および記憶媒体 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175358 | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175521 | プラズマエッチング方法 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175355 | 半導体装置の製造方法 | 2014年 9月22日 |
685 件中 151-165 件を表示
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2014-179598 2014-179658 2014-179378 2014-178071 2014-179508 2014-175581 2014-175051 2014-172696 2014-175510 2014-175532 2014-175357 2014-175608 2014-175358 2014-175521 2014-175355
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11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月29日(金) - 東京 港区
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月4日(水) -
12月4日(水) -
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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