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東京エレクトロン株式会社

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　■　2014年特許取得件数ランキング　　　第48位　694件（2013年：第45位　796件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2014-175355	半導体装置の製造方法	2014年 9月22日
特開 2014-175358	基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム	2014年 9月22日
特開 2014-175357	基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム	2014年 9月22日
特開 2014-170894	金属層をエッチングする方法	2014年 9月18日
特開 2014-170701	マイクロ波処理装置および処理方法	2014年 9月18日
特開 2014-168734	液供給装置	2014年 9月18日
特開 2014-170806	疎水化処理装置、疎水化処理方法及び疎水化処理用記録媒体	2014年 9月18日
特開 2014-168001	基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体。	2014年 9月11日
特開 2014-167142	カーボン膜形成方法及びカーボン膜	2014年 9月11日	共同出願
特開 2014-168069	アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置	2014年 9月11日
特開 2014-165234	プローブ装置及びウエハローダー	2014年 9月 8日
特開 2014-165269	群管理システム及びプログラム	2014年 9月 8日
特開 2014-165281	洗浄装置、洗浄方法および剥離システム	2014年 9月 8日
特開 2014-165330	基板熱処理装置、基板熱処理方法及び基板熱処理用記録媒体	2014年 9月 8日
特開 2014-165252	成膜方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び成膜システム	2014年 9月 8日

685 件中 166-180 件を表示

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2014-175355 2014-175358 2014-175357 2014-170894 2014-170701 2014-168734 2014-170806 2014-168001 2014-167142 2014-168069 2014-165234 2014-165269 2014-165281 2014-165330 2014-165252

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