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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-195438 蓋体開閉装置 2012年10月11日
特開 2012-195347 熱処理装置 2012年10月11日
特開 2012-195608 基板吸着離脱方法及び基板処理方法 2012年10月11日
特開 2012-193445 窒化チタン膜の形成方法、窒化チタン膜の形成装置及びプログラム 2012年10月11日
特開 2012-195513 プラズマ処理装置 2012年10月11日
特開 2012-195362 基板搬送装置 2012年10月11日
再表 2010-114118 蒸着ヘッドおよび成膜装置 2012年10月11日
特開 2012-194188 プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 2012年10月11日
再表 2010-113941 被処理体の冷却方法および被処理体処理装置 2012年10月11日
特開 2012-195533 基板搬送装置及び基板搬送方法 2012年10月11日
特開 2012-195403 浮上式塗布装置 2012年10月11日
特開 2012-195582 プラズマエッチング方法及びコンピュータ記録媒体 2012年10月11日
特開 2012-194059 画像作成方法、基板検査方法、その画像作成方法又はその基板検査方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板検査装置 2012年10月11日
特開 2012-195569 半導体装置の製造方法及びコンピュータ記録媒体 2012年10月11日
特開 2012-195576 プラズマエッチング方法及び半導体装置の製造方法並びにコンピュータ記憶媒体 2012年10月11日

714 件中 181-195 件を表示

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2012-195438 2012-195347 2012-195608 2012-193445 2012-195513 2012-195362 2010-114118 2012-194188 2010-113941 2012-195533 2012-195403 2012-195582 2012-194059 2012-195569 2012-195576

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