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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-154684 誘導結合プラズマ処理装置 2014年 8月25日
特開 2014-154751 ガス供給系及び成膜装置 2014年 8月25日
特開 2014-154682 重合膜成膜装置のクリーニング方法および重合膜成膜装置 2014年 8月25日
特開 2014-154720 被処理体保持部材、搬送装置及び処理装置 2014年 8月25日
特開 2014-150227 基板搬送装置 2014年 8月21日
特開 2014-150064 プラズマ処理装置 2014年 8月21日
特開 2014-150288 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 8月21日
特開 2014-150144 原料ガス供給装置、成膜装置、原料の供給方法及び記憶媒体 2014年 8月21日
特開 2014-150104 載置台及びプラズマ処理装置 2014年 8月21日
特開 2014-150132 有機半導体デバイスの製造方法及びその製造装置 2014年 8月21日
特開 2014-150266 接合装置及び接合システム 2014年 8月21日
特開 2014-146828 成膜方法、成膜装置、および成膜装置の使用方法 2014年 8月14日
特開 2014-146826 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法、及び、薄膜形成装置 2014年 8月14日
特開 2014-146670 成膜方法及び成膜装置 2014年 8月14日
特開 2014-145111 成膜装置 2014年 8月14日

685 件中 211-225 件を表示

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2014-154684 2014-154751 2014-154682 2014-154720 2014-150227 2014-150064 2014-150288 2014-150144 2014-150104 2014-150132 2014-150266 2014-146828 2014-146826 2014-146670 2014-145111

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