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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-175041 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 9月10日
特開 2012-174768 テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム、 2012年 9月10日
特開 2012-175057 成膜方法および成膜装置 2012年 9月10日
特開 2012-174845 成膜方法及び半導体装置の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174844 成膜方法、成膜装置、半導体装置及びその製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174843 金属薄膜の成膜方法、半導体装置及びその製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-172252 成膜方法および記憶媒体 2012年 9月10日
特開 2012-172251 成膜方法および記憶媒体 2012年 9月10日
特開 2012-172250 成膜方法および記憶媒体 2012年 9月10日
特開 2012-172871 熱処理装置および熱処理装置の温度測定方法 2012年 9月10日
特開 2012-173563 局所露光装置 2012年 9月10日
特開 2012-174976 パターンの形成方法 2012年 9月10日
特開 2012-174891 パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174854 半導体素子の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174850 基板処理方法及び記憶媒体 2012年 9月10日

714 件中 256-270 件を表示

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2012-175041 2012-174768 2012-175057 2012-174845 2012-174844 2012-174843 2012-172252 2012-172251 2012-172250 2012-172871 2012-173563 2012-174976 2012-174891 2012-174854 2012-174850

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