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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-156488 基板処理装置 2012年 8月16日
特開 2012-153936 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2012年 8月16日
特開 2012-153934 めっき処理装置、めっき処理方法および記録媒体 2012年 8月16日
特開 2012-153935 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2012年 8月16日
特開 2012-154712 流量センサ及びこれを用いたレジスト塗布装置 2012年 8月16日
特開 2012-156494 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月16日
特開 2012-156270 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 2012年 8月16日
特開 2012-156268 液処理装置および液処理方法 2012年 8月16日
特開 2012-156267 液処理装置および液処理方法 2012年 8月16日
特開 2012-156266 液処理装置および液処理方法 2012年 8月16日
特開 2012-156264 液処理装置および液処理方法 2012年 8月16日
特開 2012-156261 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2012年 8月16日
特開 2012-156259 金属膜の加工方法及び加工装置 2012年 8月16日
特開 2012-151439 液処理装置および液処理方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151348 塗布処理装置、塗布処理方法及び記憶媒体 2012年 8月 9日

714 件中 301-315 件を表示

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2012-156488 2012-153936 2012-153934 2012-153935 2012-154712 2012-156494 2012-156270 2012-156268 2012-156267 2012-156266 2012-156264 2012-156261 2012-156259 2012-151439 2012-151348

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