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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-82250 ガス導入装置及び誘導結合プラズマ処理装置 2014年 5月 8日
特開 2014-81350 温度測定機構及び温度測定方法 2014年 5月 8日
特開 2014-82529 基板搬送装置および基板処理システム 2014年 5月 8日
特開 2014-82513 液処理装置及び液処理方法 2014年 5月 8日
特開 2014-82475 プラズマ処理方法 2014年 5月 8日
特開 2014-82386 有機トランジスタ及びその製造方法 2014年 5月 8日
特開 2014-82291 半導体装置の製造方法及び半導体装置 2014年 5月 8日
特開 2014-82252 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2014年 5月 8日
特開 2014-82228 プラズマエッチング方法 2014年 5月 8日
特開 2014-82014 ヒータ装置及び熱処理装置 2014年 5月 8日
特表 2014-510954 リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法 2014年 5月 1日 共同出願
特開 2014-78571 薬液吐出量計測用治具、薬液吐出量計測機構及び薬液吐出量計測方法 2014年 5月 1日
特開 2014-78562 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体 2014年 5月 1日
特開 2014-78685 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2014年 5月 1日
特開 2014-78666 ヒータ異常判別システム、及び、ヒータ異常判別方法 2014年 5月 1日

685 件中 421-435 件を表示

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2014-82250 2014-81350 2014-82529 2014-82513 2014-82475 2014-82386 2014-82291 2014-82252 2014-82228 2014-82014 2014-510954 2014-78571 2014-78562 2014-78685 2014-78666

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