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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-77671 プローブカード取り付け方法 2014年 5月 1日
特開 2014-78755 インジェクターブロック 2014年 5月 1日
特開 2014-78630 液処理装置 2014年 5月 1日
特開 2014-78590 半導体素子の製造方法及び半導体素子 2014年 5月 1日
特表 2014-511040 枚葉式基板処理のためのエッチングシステム及び方法 2014年 5月 1日
特開 2014-75451 成膜方法及び成膜装置 2014年 4月24日 共同出願
特開 2014-75575 現像処理装置 2014年 4月24日
特開 2014-73438 額縁発生抑制方法及び額縁発生抑制装置 2014年 4月24日
特開 2014-75493 成膜方法及び成膜装置 2014年 4月24日
特開 2014-75234 アンテナ及びプラズマ処理装置 2014年 4月24日
特開 2014-74190 成膜装置 2014年 4月24日
特開 2014-75420 ウエハ取り付け方法及びウエハ検査装置 2014年 4月24日
特開 2014-75567 被処理基体を処理する方法、及びプラズマ処理装置 2014年 4月24日
特開 2014-75391 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 4月24日
特開 2014-75398 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年 4月24日

685 件中 436-450 件を表示

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2014-77671 2014-78755 2014-78630 2014-78590 2014-511040 2014-75451 2014-75575 2014-73438 2014-75493 2014-75234 2014-74190 2014-75420 2014-75567 2014-75391 2014-75398

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