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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-60220 エッチング装置およびエッチング方法 2014年 4月 3日
特開 2014-56999 パターニングされた有機電極を形成する方法 2014年 3月27日 共同出願
特開 2014-56910 塗布処理装置、接合システム、塗布処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 3月27日
特開 2014-54618 スリットノズル及び塗布装置及び塗布方法 2014年 3月27日
特開 2014-56928 離脱制御方法及びプラズマ処理装置 2014年 3月27日
特開 2014-57047 基板処理装置及びガス供給装置 2014年 3月27日
特開 2014-57025 スペーサ、スペーサの搬送方法、処理方法、及び、処理装置 2014年 3月27日
特開 2014-56959 熱処理装置 2014年 3月27日
特開 2014-56806 マイクロ波加熱処理装置および処理方法 2014年 3月27日
特開 2014-55794 測定装置及び測定方法 2014年 3月27日
特開 2014-56187 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 3月27日
特開 2014-56987 プラズマ処理装置 2014年 3月27日
特開 2014-56706 プラズマ処理装置及びフィルタユニット 2014年 3月27日
特表 2014-507801 ツール操作パラメータ及び材料測定と分光情報を関連付けることによるツール性能の改良 2014年 3月27日
特開 2014-50957 基板研磨手段及び基板研磨装置並びに基板研磨システム 2014年 3月20日

685 件中 496-510 件を表示

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2014-60220 2014-56999 2014-56910 2014-54618 2014-56928 2014-57047 2014-57025 2014-56959 2014-56806 2014-55794 2014-56187 2014-56987 2014-56706 2014-507801 2014-50957

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