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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-53492 熱処理装置 2014年 3月20日
特開 2014-53370 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 3月20日
特開 2014-53643 フッ素及び水素を使用する順次の酸化物の取り除き 2014年 3月20日
特開 2014-53540 塗布、現像装置 2014年 3月20日
特開 2014-53496 プログラム、演算装置及び演算方法 2014年 3月20日
特開 2014-53482 プラズマエッチング装置 2014年 3月20日
特開 2014-53481 プラズマエッチング装置 2014年 3月20日
特開 2014-53465 剥離システム 2014年 3月20日
特開 2014-53464 剥離システム 2014年 3月20日
特開 2014-53463 剥離システム 2014年 3月20日
特開 2014-53439 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2014年 3月20日
特開 2014-53417 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法 2014年 3月20日
特開 2014-47416 蒸着装置、蒸着方法、有機ELディスプレイ、および有機EL照明装置 2014年 3月17日 共同出願
特開 2014-49560 搬送基台及び搬送装置 2014年 3月17日
特開 2014-49532 ゲートバルブおよび基板処理システム 2014年 3月17日

685 件中 511-525 件を表示

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2014-53492 2014-53370 2014-53643 2014-53540 2014-53496 2014-53482 2014-53481 2014-53465 2014-53464 2014-53463 2014-53439 2014-53417 2014-47416 2014-49560 2014-49532

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