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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-36104 パターン形成方法及び固体撮像装置 2014年 2月24日
特開 2014-36055 基板洗浄装置および基板洗浄ユニット 2014年 2月24日
特開 2014-35887 プラズマ処理装置、および高周波発生器 2014年 2月24日
特開 2014-35862 被処理体のマイクロ波処理方法及びマイクロ波処理装置 2014年 2月24日
特開 2014-30986 貼付装置、貼付システム及び貼付方法 2014年 2月20日
特開 2014-33186 カーボン膜の成膜方法および成膜装置 2014年 2月20日
特開 2014-33143 化合物半導体膜の成膜方法および成膜装置 2014年 2月20日
特開 2014-33112 化合物半導体膜の成膜方法および成膜装置 2014年 2月20日
特開 2014-33042 熱処理装置、熱処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 2月20日
特開 2014-33141 貼付装置、貼付システム及び貼付方法 2014年 2月20日
特開 2014-33226 塗布、現像装置 2014年 2月20日
特開 2014-33178 液処理装置、洗浄用治具および洗浄方法 2014年 2月20日
特開 2014-33146 基板処理装置、収集方法及びプログラム 2014年 2月20日
特開 2014-33111 処理液供給装置の運転方法、処理液供給装置及び記憶媒体 2014年 2月20日
特開 2014-33043 熱処理装置、熱処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 2月20日

685 件中 556-570 件を表示

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2014-36104 2014-36055 2014-35887 2014-35862 2014-30986 2014-33186 2014-33143 2014-33112 2014-33042 2014-33141 2014-33226 2014-33178 2014-33146 2014-33111 2014-33043

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