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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-17438 パターン形成方法及び基板処理システム 2014年 1月30日
特開 2014-17380 伝熱シート貼付装置及び伝熱シート貼付方法 2014年 1月30日
特開 2014-17354 成膜方法 2014年 1月30日
特開 2014-17345 Cu配線の形成方法 2014年 1月30日
特開 2014-17331 成膜装置及び成膜方法 2014年 1月30日
特開 2014-17322 成膜装置の運転方法及び成膜装置 2014年 1月30日
特開 2014-17296 成膜方法 2014年 1月30日
特開 2014-16035 ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 2014年 1月30日
特開 2014-16239 X線検査方法及びX線検査装置 2014年 1月30日
特開 2014-17499 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 2014年 1月30日
特開 2014-17316 現像処理装置及び現像処理方法 2014年 1月30日
特開 2014-16799 クリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法 2014年 1月30日
特開 2014-17473 シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 1月30日
特開 2014-17472 シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 1月30日
特開 2014-17406 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年 1月30日

685 件中 616-630 件を表示

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2014-17438 2014-17380 2014-17354 2014-17345 2014-17331 2014-17322 2014-17296 2014-16035 2014-16239 2014-17499 2014-17316 2014-16799 2014-17473 2014-17472 2014-17406

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