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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-8424 塗布装置および塗布液充填方法 2014年 1月20日
特開 2014-8423 塗布装置および塗布液充填方法 2014年 1月20日
特開 2014-8422 塗布装置およびノズル 2014年 1月20日
特開 2014-11357 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 2014年 1月20日
特開 2014-11322 プログラム、熱処理装置及び熱処理装置の動作検出方法 2014年 1月20日
特開 2014-11234 シリコン酸化膜の形成方法およびその形成装置 2014年 1月20日
特開 2014-11178 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年 1月20日
特開 2014-9392 原料容器および原料容器の使用方法 2014年 1月20日
再表 2012-32942 マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置 2014年 1月20日
特開 2014-11373 半導体検査システム及びインターフェース部の結露防止方法 2014年 1月20日
特開 2014-11382 プラズマ処理装置、及び温度制御方法 2014年 1月20日
特開 2014-11191 エッチング方法 2014年 1月20日
特開 2014-7416 有孔性低誘電率誘電膜の硬化方法 2014年 1月16日
特開 2014-7378 成膜方法及び成膜装置 2014年 1月16日
特開 2014-7343 成膜装置 2014年 1月16日

685 件中 646-660 件を表示

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2014-8424 2014-8423 2014-8422 2014-11357 2014-11322 2014-11234 2014-11178 2014-9392 2012-32942 2014-11373 2014-11382 2014-11191 2014-7416 2014-7378 2014-7343

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