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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-7289 ガス供給装置及び成膜装置 2014年 1月16日
特表 2014-501027 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2014年 1月16日
特開 2014-7237 電子デバイス試験装置 2014年 1月16日
特開 2014-7281 レジストマスクの処理方法 2014年 1月16日
特開 2014-7429 基板処理装置 2014年 1月16日
特開 2014-7380 筐体及びこれを含む基板処理装置 2014年 1月16日
特開 2014-7370 プラズマエッチング方法 2014年 1月16日
特開 2014-7270 エッチング方法及びエッチング装置 2014年 1月16日
特開 2014-7251 基板処理装置のデータ取得方法及びセンサ用基板 2014年 1月16日
特開 2014-7215 被処理体の処理装置及び被処理体の載置台 2014年 1月16日
特開 2014-7087 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2014年 1月16日
特表 2014-500625 側壁像転写ピッチダブリング及びインライン限界寸法スリミング 2014年 1月 9日 共同出願
特開 2014-3238 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 1月 9日
特開 2014-3308 成膜方法および成膜装置 2014年 1月 9日
特開 2014-3303 クリーニング方法 2014年 1月 9日

685 件中 661-675 件を表示

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2014-7289 2014-501027 2014-7237 2014-7281 2014-7429 2014-7380 2014-7370 2014-7270 2014-7251 2014-7215 2014-7087 2014-500625 2014-3238 2014-3308 2014-3303

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