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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件 (2011年:第62位 621件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件 (2011年:第41位 739件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-225533 | クリーンルームの除塵システム | 2012年11月15日 | 共同出願 |
特開 2012-227531 | 反射装置、連通管、排気システム、該システムの洗浄方法、記憶媒体、及び基板処理装置 | 2012年11月15日 | |
特開 2012-223824 | チューブ挿入用工具 | 2012年11月15日 | |
特開 2012-225532 | クリーンルームの除塵装置 | 2012年11月15日 | 共同出願 |
特開 2012-227265 | 熱処理装置 | 2012年11月15日 | |
特開 2012-227461 | 塗布装置、塗布方法及び記憶媒体 | 2012年11月15日 | |
特表 2012-529007 | プローブカード | 2012年11月15日 | |
特開 2012-227427 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2012年11月15日 | |
再表 2010-140526 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の給電方法 | 2012年11月15日 | |
特開 2012-222237 | 液処理方法及び液処理装置 | 2012年11月12日 | |
特開 2012-220896 | 周辺露光方法及び周辺露光装置 | 2012年11月12日 | |
特開 2012-222238 | 基板処理方法、その基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体、基板処理装置及び基板処理システム | 2012年11月12日 | |
特開 2012-222329 | 液処理方法及び液処理装置 | 2012年11月12日 | |
特開 2012-222330 | エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 | 2012年11月12日 | |
特開 2012-222240 | 基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2012年11月12日 |
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2012-225533 2012-227531 2012-223824 2012-225532 2012-227265 2012-227461 2012-529007 2012-227427 2010-140526 2012-222237 2012-220896 2012-222238 2012-222329 2012-222330 2012-222240
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11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
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12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月4日(水) - 東京 千代田区
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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