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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-216500 接合装置、接合システムおよび接合方法 2014年11月17日
特開 2014-215038 カンチレバー、製造方法、検査装置及び検査方法 2014年11月17日
特開 2014-216535 エッチング方法 2014年11月17日
特開 2014-212331 縦型熱処理装置 2014年11月13日
特開 2014-212344 基板処理装置 2014年11月13日
特開 2014-212310 半導体デバイスの製造方法及び製造装置 2014年11月13日
特開 2014-212253 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 2014年11月13日 共同出願
特開 2014-209558 シリコン酸化膜の形成方法、及び、シリコン酸化膜の形成装置 2014年11月 6日
特開 2014-209514 パターンを形成する方法 2014年11月 6日
特開 2014-209552 遷移金属を含む膜をエッチングする方法 2014年11月 6日 共同出願
特開 2014-209270 半導体装置の製造方法 2014年11月 6日
特開 2014-209536 基板検査装置及び基板温度調整方法 2014年11月 6日
特開 2014-209515 エッチング方法 2014年11月 6日
特開 2014-207339 焼成装置及び焼成方法 2014年10月30日 共同出願
特開 2014-207320 液処理装置 2014年10月30日

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2014-216500 2014-215038 2014-216535 2014-212331 2014-212344 2014-212310 2014-212253 2014-209558 2014-209514 2014-209552 2014-209270 2014-209536 2014-209515 2014-207339 2014-207320

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