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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-192404 プローブ装置 2014年10月 6日
特開 2014-192525 多孔質有機シリカLow−k材料をエッチングする方法 2014年10月 6日
特開 2014-192372 マイクロ波加熱処理装置 2014年10月 6日
特開 2014-192218 ウエハ検査装置 2014年10月 6日
特開 2014-192244 搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法 2014年10月 6日
特開 2014-192285 プローブ装置 2014年10月 6日
特開 2014-192245 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年10月 6日
特開 2014-192356 被処理体の処理装置、及び、ティーチング方法 2014年10月 6日
特開 2014-192405 プローブ装置 2014年10月 6日
特開 2014-185353 ルテニウム膜の形成方法および記憶媒体 2014年10月 2日
特開 2014-187231 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2014年10月 2日 共同出願
特開 2014-186994 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2014年10月 2日
特開 2014-187274 マイクロ波加熱処理方法 2014年10月 2日
特開 2014-187402 プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 2014年10月 2日
特開 2014-187346 焼結銀被覆膜の作製方法及び焼成装置及び半導体装置 2014年10月 2日

685 件中 121-135 件を表示

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2014-192404 2014-192525 2014-192372 2014-192218 2014-192244 2014-192285 2014-192245 2014-192356 2014-192405 2014-185353 2014-187231 2014-186994 2014-187274 2014-187402 2014-187346

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