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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第135位 339件
(2011年:第167位 266件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第106位 389件
(2011年:第133位 277件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5090281 | 基板電位測定装置及び基板電位測定方法 | 2012年12月 5日 | |
特許 5091536 | ポリシリコン層の改質方法、ポリシリコン太陽電池の製造方法及びポリシリコン型薄膜トランジスタの製造方法並びにポリシリコン層の改質装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5090375 | カルコゲナイド膜の形成方法及び記録素子の製造方法 | 2012年12月 5日 | |
特許 5089906 | 縦型化学気相成長装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5091943 | 成膜装置及び成膜方法 | 2012年12月 5日 | |
特許 5089962 | マグネトロンスパッタ電極及びマグネトロンスパッタ電極を備えたスパッタリング装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5090443 | ドライエッチング方法 | 2012年12月 5日 | |
特許 5089898 | カーボンナノチューブの成長方法 | 2012年12月 5日 | |
特許 5085901 | カーボンナノチューブの作製装置 | 2012年11月28日 | |
特許 5081683 | カーボンナノチューブ成長用基板及びその製造方法、並びにカーボンナノチューブの製造方法 | 2012年11月28日 | |
特許 5082009 | ウェハ搬送用トレイ及びこのトレイ上にウェハを固定する方法 | 2012年11月28日 | |
特許 5081899 | 蒸着源、蒸着装置、成膜方法 | 2012年11月28日 | |
特許 5084525 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2012年11月28日 | |
特許 5081684 | カーボンナノチューブ成長用基板及びその製造方法、並びにカーボンナノチューブの製造方法 | 2012年11月28日 | |
特許 5085456 | 金属材料の表面処理法 | 2012年11月28日 | 共同出願 |
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5090281 5091536 5090375 5089906 5091943 5089962 5090443 5089898 5085901 5081683 5082009 5081899 5084525 5081684 5085456
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