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株式会社アルバック

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  2015年 出願公開件数ランキング    第400位 88件 下降2014年:第254位 168件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第166位 188件 上昇2014年:第185位 238件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5728536 基板への膜の形成装置 2015年 6月 3日
特許 5728560 有機高分子薄膜の形成方法及び形成装置 2015年 6月 3日
特許 5725454 NiSi膜の形成方法、シリサイド膜の形成方法、シリサイドアニール用金属膜の形成方法、真空処理装置、及び成膜装置 2015年 5月27日
特許 5725460 スパッタリング装置 2015年 5月27日
特許 5719579 プラズマエッチング方法 2015年 5月20日
特許 5719849 薄膜製造方法 2015年 5月20日
特許 5721815 ターゲット及びターゲットの製造方法 2015年 5月20日
特許 5721816 被処理体の搬送機構 2015年 5月20日
特許 5721817 カソード 2015年 5月20日
特許 5717444 カソードユニット及びこのカソードユニットを備えたスパッタリング装置 2015年 5月13日
特許 5718709 半導体層形成装置、半導体層製造方法 2015年 5月13日
特許 5718767 スパッタリング装置 2015年 5月13日
特許 5712063 真空鋳造装置 2015年 5月 7日
特許 5715096 金属酸化膜の蒸着方法及びプラズマディスプレイパネルの製造方法 2015年 5月 7日
特許 5709661 窒化リン酸リチウム膜の成膜方法、及び窒化リン酸リチウム膜の成膜装置 2015年 4月30日

192 件中 121-135 件を表示

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5728536 5728560 5725454 5725460 5719579 5719849 5721815 5721816 5721817 5717444 5718709 5718767 5712063 5715096 5709661

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