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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第400位 88件
(2014年:第254位 168件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第166位 188件
(2014年:第185位 238件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5728536 | 基板への膜の形成装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5728560 | 有機高分子薄膜の形成方法及び形成装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5725454 | NiSi膜の形成方法、シリサイド膜の形成方法、シリサイドアニール用金属膜の形成方法、真空処理装置、及び成膜装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5725460 | スパッタリング装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5719579 | プラズマエッチング方法 | 2015年 5月20日 | |
特許 5719849 | 薄膜製造方法 | 2015年 5月20日 | |
特許 5721815 | ターゲット及びターゲットの製造方法 | 2015年 5月20日 | |
特許 5721816 | 被処理体の搬送機構 | 2015年 5月20日 | |
特許 5721817 | カソード | 2015年 5月20日 | |
特許 5717444 | カソードユニット及びこのカソードユニットを備えたスパッタリング装置 | 2015年 5月13日 | |
特許 5718709 | 半導体層形成装置、半導体層製造方法 | 2015年 5月13日 | |
特許 5718767 | スパッタリング装置 | 2015年 5月13日 | |
特許 5712063 | 真空鋳造装置 | 2015年 5月 7日 | |
特許 5715096 | 金属酸化膜の蒸着方法及びプラズマディスプレイパネルの製造方法 | 2015年 5月 7日 | |
特許 5709661 | 窒化リン酸リチウム膜の成膜方法、及び窒化リン酸リチウム膜の成膜装置 | 2015年 4月30日 |
192 件中 121-135 件を表示
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5728536 5728560 5725454 5725460 5719579 5719849 5721815 5721816 5721817 5717444 5718709 5718767 5712063 5715096 5709661
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