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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第400位 88件
(2014年:第254位 168件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第166位 188件
(2014年:第185位 238件)
(ランキング更新日:2025年4月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5746871 | 成膜装置及び薄膜の形成方法 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5747041 | 誘電体成膜装置及び誘電体成膜方法 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5743086 | 紫外線フィルター機構及び紫外線照射装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5740230 | 走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法 | 2015年 6月24日 | |
特許 5734612 | カソードユニットおよび成膜装置 | 2015年 6月17日 | |
特許 5735226 | 蒸着装置及び蒸着方法 | 2015年 6月17日 | |
特許 5736244 | 金属微粒子の製造方法 | 2015年 6月17日 | |
特許 5737806 | 触針式表面形状測定器用の探針交換用冶具 | 2015年 6月17日 | |
特許 5737972 | 真空蒸着装置 | 2015年 6月17日 | |
特許 5738059 | 真空用ロボット | 2015年 6月17日 | |
特許 5730322 | 蒸着装置及び蒸着方法 | 2015年 6月10日 | |
特許 5730326 | In金属酸化物膜の形成方法 | 2015年 6月10日 | |
特許 5731225 | 窒化ガリウム膜の形成方法、及び窒化ガリウム膜の形成装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5731292 | 真空処理装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5731301 | 真空処理装置用のガス供給装置 | 2015年 6月10日 |
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5746871 5747041 5743086 5740230 5734612 5735226 5736244 5737806 5737972 5738059 5730322 5730326 5731225 5731292 5731301
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