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株式会社アルバック

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  2016年 出願公開件数ランキング    第499位 67件 下降2015年:第400位 88件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第236位 145件 下降2015年:第166位 188件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6004921 スパッタリング装置、薄膜製造方法 2016年10月12日
特許 6006992 マルチノズルプレートの製造方法 2016年10月12日
特許 6007004 基板保持装置、基板処理装置 2016年10月12日
特許 6007029 基板加工方法 2016年10月12日
特許 6007039 搬送トレー及び基板保持方法 2016年10月12日
特許 6007070 スパッタリング方法及びスパッタリング装置 2016年10月12日
特許 6002416 吸着装置 2016年10月 5日
特許 5999543 トンネル磁気抵抗素子の製造方法 2016年 9月28日
特許 5999800 深紫外LED及びその製造方法 2016年 9月28日
特許 5999967 照射方法、処理装置 2016年 9月28日
特許 6000041 基板加熱装置、熱CVD装置 2016年 9月28日
特許 5990439 薄膜形成方法、薄膜形成装置 2016年 9月14日
特許 5993313 姿勢制御装置 2016年 9月14日
特許 5988619 成膜装置、成膜方法 2016年 9月 7日
特許 5988817 多孔質シリカ膜前駆体組成物、多孔質シリカ膜の製造方法及び多孔質シリカ膜並びに半導体素子 2016年 9月 7日

153 件中 31-45 件を表示

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6004921 6006992 6007004 6007029 6007039 6007070 6002416 5999543 5999800 5999967 6000041 5990439 5993313 5988619 5988817

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