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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第499位 67件
(2015年:第400位 88件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第236位 145件
(2015年:第166位 188件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6004921 | スパッタリング装置、薄膜製造方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6006992 | マルチノズルプレートの製造方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6007004 | 基板保持装置、基板処理装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6007029 | 基板加工方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6007039 | 搬送トレー及び基板保持方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6007070 | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6002416 | 吸着装置 | 2016年10月 5日 | |
特許 5999543 | トンネル磁気抵抗素子の製造方法 | 2016年 9月28日 | |
特許 5999800 | 深紫外LED及びその製造方法 | 2016年 9月28日 | |
特許 5999967 | 照射方法、処理装置 | 2016年 9月28日 | |
特許 6000041 | 基板加熱装置、熱CVD装置 | 2016年 9月28日 | |
特許 5990439 | 薄膜形成方法、薄膜形成装置 | 2016年 9月14日 | |
特許 5993313 | 姿勢制御装置 | 2016年 9月14日 | |
特許 5988619 | 成膜装置、成膜方法 | 2016年 9月 7日 | |
特許 5988817 | 多孔質シリカ膜前駆体組成物、多孔質シリカ膜の製造方法及び多孔質シリカ膜並びに半導体素子 | 2016年 9月 7日 |
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6004921 6006992 6007004 6007029 6007039 6007070 6002416 5999543 5999800 5999967 6000041 5990439 5993313 5988619 5988817
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