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株式会社アルバック

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  2016年 出願公開件数ランキング    第499位 67件 下降2015年:第400位 88件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第236位 145件 下降2015年:第166位 188件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5988871 ラジカルクリーニング装置及び方法 2016年 9月 7日
特許 5986447 トレイ、基板の位置調整システム、及び露光装置 2016年 9月 6日
特許 5980603 誘電体膜の形成方法、薄膜二次電池の製造方法、誘電体膜の形成装置、および、薄膜二次電池の製造装置 2016年 8月31日
特許 5981115 成膜装置 2016年 8月31日
特許 5982156 金属微粒子分散液 2016年 8月31日
特許 5982194 起点座標補正方法 2016年 8月31日
特許 5977581 仕切弁 2016年 8月24日
特許 5978045 減圧システム 2016年 8月24日
特許 5978072 絶縁膜の形成方法 2016年 8月24日
特許 5978417 酸化アルミニウム膜の成膜方法及び形成方法並びにスパッタリング装置 2016年 8月24日
特許 5976344 有機EL素子の電極膜形成方法、有機EL素子の電極膜形成装置 2016年 8月23日
特許 5976367 導電性金属ペースト 2016年 8月23日
特許 5976368 導電性金属ペースト 2016年 8月23日
特許 5965628 Cu層形成方法及び半導体装置の製造方法 2016年 8月10日
特許 5965676 処理対象物の保持方法 2016年 8月10日

153 件中 46-60 件を表示

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5988871 5986447 5980603 5981115 5982156 5982194 5977581 5978045 5978072 5978417 5976344 5976367 5976368 5965628 5965676

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