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株式会社アルバック

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株式会社アルバックの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
再表 2020-115962	成膜装置及び成膜方法	2021年 9月 2日
再表 2020-115980	成膜装置および成膜方法	2021年 9月 2日
再表 2020-66247	マグネトロンスパッタリング装置用の磁石ユニット	2021年 8月30日
特開 2021-125504	プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置	2021年 8月30日
特開 2021-119261	スカンジウムアルミニウム窒化物粉末の製造方法、ターゲットの製造方法及びターゲット	2021年 8月12日
特開 2021-116433	真空蒸着装置用の蒸着源	2021年 8月10日
特開 2021-113343	真空処理装置	2021年 8月 5日
特開 2021-109985	基板ホルダ及び成膜装置	2021年 8月 2日
特開 2021-110315	補助ポンプ制御装置、および、真空ポンプシステム	2021年 8月 2日
特開 2021-111755	金属配線の形成方法	2021年 8月 2日
特開 2021-111756	金属配線の形成方法及び金属配線構造体	2021年 8月 2日
特開 2021-111757	金属配線の形成方法	2021年 8月 2日
特開 2021-101039	電子銃装置及び蒸着装置	2021年 7月 8日
特開 2021-96030	真空乾燥装置、真空乾燥装置における棚の温度調節方法	2021年 6月24日
再表 2019-235196	酸化膜除去方法、および、酸化膜除去装置	2021年 6月17日

138 件中 46-60 件を表示

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2020-115962 2020-115980 2020-66247 2021-125504 2021-119261 2021-116433 2021-113343 2021-109985 2021-110315 2021-111755 2021-111756 2021-111757 2021-101039 2021-96030 2019-235196

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