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株式会社アルバック

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  2021年 出願公開件数ランキング    第291位 132件 下降2020年:第192位 224件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第322位 84件 下降2020年:第293位 94件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-92327 真空乾燥装置、真空乾燥装置における棚の温度調節方法 2021年 6月17日
再表 2020-44872 スパッタリング装置及び成膜方法 2021年 6月10日
再表 2020-100376 真空加熱装置、リフレクタ装置 2021年 6月10日
再表 2020-230360 真空処理装置用のキャンローラ 2021年 6月 3日
特開 2021-82683 搬送装置、および、真空処理装置 2021年 5月27日
特開 2021-82789 窒化物半導体基板および窒化物半導体基板の製造方法 2021年 5月27日
再表 2020-230359 蒸着ユニット及びこの蒸着ユニットを備える真空蒸着装置 2021年 5月20日
特開 2021-77744 基板ステージ及び真空処理装置 2021年 5月20日
再表 2020-213228 蒸着源及び蒸着装置 2021年 5月 6日
再表 2020-213232 Cu合金ターゲット 2021年 5月 6日
特開 2021-72309 搬送装置、および、真空処理装置 2021年 5月 6日
再表 2020-183827 成膜方法 2021年 4月30日
再表 2020-208904 Cu合金ターゲット、配線膜、半導体装置、液晶表示装置 2021年 4月30日
特開 2021-66895 成膜方法 2021年 4月30日
特開 2021-67589 ピラニ真空計 2021年 4月30日

138 件中 61-75 件を表示

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2021-92327 2020-44872 2020-100376 2020-230360 2021-82683 2021-82789 2020-230359 2021-77744 2020-213228 2020-213232 2021-72309 2020-183827 2020-208904 2021-66895 2021-67589

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