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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第291位 132件
(2020年:第192位 224件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第322位 84件
(2020年:第293位 94件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6959454 | 成膜装置 | 2021年11月 2日 | |
特許 6951584 | 成膜方法 | 2021年10月20日 | |
特許 6947569 | スパッタ装置 | 2021年10月13日 | |
特許 6947604 | Al合金導電膜、薄膜トランジスタ及びAl合金導電膜の製造方法 | 2021年10月13日 | |
特許 6947863 | 薄膜の形成方法 | 2021年10月13日 | |
特許 6950867 | リチウム薄膜の製造方法及びリチウム薄膜の製造装置 | 2021年10月13日 | |
特許 6946539 | ニオブ粉末、ニオブ粉末製造用部材及びこれらの製造方法並びにニオブ部材の製造方法 | 2021年10月 6日 | |
特許 6942936 | 真空装置、吸着電源 | 2021年 9月29日 | |
特許 6942937 | スパッタリング装置及び薄膜製造方法 | 2021年 9月29日 | |
特許 6942939 | スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 | 2021年 9月29日 | |
特許 6935283 | 処理装置 | 2021年 9月15日 | |
特許 6931572 | ゲート絶縁膜の形成方法、および、ゲート絶縁膜 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6932892 | 三極管型電離真空計及び圧力測定方法 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6933321 | 測定セル及び測定装置 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6927777 | 成膜方法及びスパッタリング装置 | 2021年 9月 1日 |
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6959454 6951584 6947569 6947604 6947863 6950867 6946539 6942936 6942937 6942939 6935283 6931572 6932892 6933321 6927777
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