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株式会社アルバック

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  2021年 特許取得件数ランキング    第322位 84件 下降2020年:第293位 94件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6864040 仕切りバルブ 2021年 4月21日
特許 6858524 成膜装置 2021年 4月14日
特許 6859095 成膜方法 2021年 4月14日
特許 6851143 蒸発源、真空蒸着装置および真空蒸着方法 2021年 3月31日
特許 6851171 微細機能素子及び微細機能素子の製造方法 2021年 3月31日
特許 6851202 基板ホルダ、縦型基板搬送装置及び基板処理装置 2021年 3月31日
特許 6852197 反応性イオンエッチング装置 2021年 3月31日
特許 6852996 酸化亜鉛化合物膜の成膜方法、および、酸化亜鉛化合物膜 2021年 3月31日
特許 6853355 薄膜の形成方法 2021年 3月31日
特許 6853873 樹脂膜の形成方法およびマスク 2021年 3月31日
特許 6842562 アルミニウム合金膜、その製造方法、及び薄膜トランジスタ 2021年 3月17日
特許 6836911 仕切弁装置 2021年 3月 3日
特許 6837134 液晶表示装置、有機EL表示装置、半導体素子、配線膜、配線基板 2021年 3月 3日
特許 6824003 静電チャック付きトレイ 2021年 2月 3日
特許 6824701 成膜方法及び成膜装置 2021年 2月 3日

85 件中 61-75 件を表示

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6864040 6858524 6859095 6851143 6851171 6851202 6852197 6852996 6853355 6853873 6842562 6836911 6837134 6824003 6824701

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