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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第291位 132件
(2020年:第192位 224件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第322位 84件
(2020年:第293位 94件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6864040 | 仕切りバルブ | 2021年 4月21日 | |
特許 6858524 | 成膜装置 | 2021年 4月14日 | |
特許 6859095 | 成膜方法 | 2021年 4月14日 | |
特許 6851143 | 蒸発源、真空蒸着装置および真空蒸着方法 | 2021年 3月31日 | |
特許 6851171 | 微細機能素子及び微細機能素子の製造方法 | 2021年 3月31日 | |
特許 6851202 | 基板ホルダ、縦型基板搬送装置及び基板処理装置 | 2021年 3月31日 | |
特許 6852197 | 反応性イオンエッチング装置 | 2021年 3月31日 | |
特許 6852996 | 酸化亜鉛化合物膜の成膜方法、および、酸化亜鉛化合物膜 | 2021年 3月31日 | |
特許 6853355 | 薄膜の形成方法 | 2021年 3月31日 | |
特許 6853873 | 樹脂膜の形成方法およびマスク | 2021年 3月31日 | |
特許 6842562 | アルミニウム合金膜、その製造方法、及び薄膜トランジスタ | 2021年 3月17日 | |
特許 6836911 | 仕切弁装置 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6837134 | 液晶表示装置、有機EL表示装置、半導体素子、配線膜、配線基板 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6824003 | 静電チャック付きトレイ | 2021年 2月 3日 | |
特許 6824701 | 成膜方法及び成膜装置 | 2021年 2月 3日 |
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6864040 6858524 6859095 6851143 6851171 6851202 6852197 6852996 6853355 6853873 6842562 6836911 6837134 6824003 6824701
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