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東京エレクトロン株式会社

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　■　2017年特許取得件数ランキング　　　第66位　431件（2016年：第49位　561件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2017-196557	フィルタ装置及び液処理装置	2017年11月 2日
特開 2017-199507	プラズマ処理装置およびガス導入機構	2017年11月 2日
特開 2017-199694	複数の高周波（ＲＦ）電力結合素子を利用してプラズマ特性を制御するＲＦ電力結合システム	2017年11月 2日
特開 2017-199735	基板の入れ替えシステム、基板の入れ替え方法及び記憶媒体	2017年11月 2日
特開 2017-199782	基板処理方法及び基板処理装置	2017年11月 2日
特開 2017-199795	変圧器、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法	2017年11月 2日
特開 2017-199861	接合装置、接合システムおよび接合方法	2017年11月 2日
特開 2017-199943	エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体	2017年11月 2日
特開 2017-195302	プラズマ処理装置	2017年10月26日
特開 2017-195303	プラズマ処理装置の保守方法	2017年10月26日
特開 2017-195371	微細凹状フィーチャのＳｉＯ２充填及び触媒表面上への選択的ＳｉＯ２堆積のための方法	2017年10月26日
特開 2017-195381	プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置	2017年10月26日
特開 2017-195407	プラズマ処理装置	2017年10月26日
特開 2017-189755	電気集塵装置及び処理液供給装置	2017年10月19日
特開 2017-190744	加熱装置およびターボ分子ポンプ	2017年10月19日

593 件中 91-105 件を表示

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2017-196557 2017-199507 2017-199694 2017-199735 2017-199782 2017-199795 2017-199861 2017-199943 2017-195302 2017-195303 2017-195371 2017-195381 2017-195407 2017-189755 2017-190744

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