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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第334位 117件
(2018年:第1087位 24件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第244位 113件
(2018年:第930位 22件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6476369 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2019年 3月 6日 | |
特許 6476370 | 記録媒体、プログラム、半導体装置の製造方法および基板処理装置。 | 2019年 3月 6日 | |
特許 6476371 | 基板処理装置、加熱部、部材、半導体装置の製造方法および配管の加熱方法 | 2019年 3月 6日 | |
特許 6478330 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 3月 6日 | |
特許 6479713 | 半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 | 2019年 3月 6日 | |
特許 6475135 | 半導体装置の製造方法、ガス供給方法及び基板処理装置並びに基板保持具 | 2019年 2月27日 | |
特許 6473269 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2019年 2月20日 | |
特許 6469495 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2019年 2月13日 | |
特許 6470057 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 2月13日 | |
特許 6470060 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 2月13日 | |
特許 6470468 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2019年 2月13日 | |
特許 6460874 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 1月30日 | |
特許 6462139 | ガス供給部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | 2019年 1月30日 | |
特許 6462161 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2019年 1月30日 | |
特許 6456764 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 1月23日 |
113 件中 91-105 件を表示
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6476369 6476370 6476371 6478330 6479713 6475135 6473269 6469495 6470057 6470060 6470468 6460874 6462139 6462161 6456764
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