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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第334位 117件
(2018年:第1087位 24件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第244位 113件
(2018年:第930位 22件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6523119 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 5月29日 | |
特許 6523186 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 5月29日 | |
特許 6513285 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2019年 5月15日 | |
特許 6505851 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2019年 4月24日 | |
特許 6506666 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 4月24日 | |
特許 6506785 | リソグラフィ用テンプレートの製造方法、プログラム及び基板処理装置 | 2019年 4月24日 | |
特許 6496510 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 4月 3日 | |
特許 6490374 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 3月27日 | |
特許 6490470 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2019年 3月27日 | |
特許 6486479 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム、および供給系 | 2019年 3月20日 | |
特許 6487574 | 貯留装置、気化器、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2019年 3月20日 | |
特許 6484388 | 半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 | 2019年 3月13日 | |
特許 6484478 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 3月13日 | |
特許 6484601 | 処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2019年 3月13日 | |
特許 6484639 | 処理装置、コントローラ及びプログラム | 2019年 3月13日 |
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6523119 6523186 6513285 6505851 6506666 6506785 6496510 6490374 6490470 6486479 6487574 6484388 6484478 6484601 6484639
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