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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第334位 117件
(2018年:第1087位 24件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第244位 113件
(2018年:第930位 22件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6564802 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2019年 8月21日 | |
特許 6559618 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2019年 8月14日 | |
特許 6559902 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 8月14日 | |
特許 6560704 | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 | 2019年 8月14日 | |
特許 6560767 | 基板処理装置、基板保持具及び半導体装置の製造方法 | 2019年 8月14日 | |
特許 6560818 | 半導体装置の製造方法、基板装填方法、プログラムおよび基板処理装置 | 2019年 8月14日 | |
特許 6560924 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2019年 8月14日 | |
特許 6560991 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 8月14日 | |
特許 6561001 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給系およびプログラム | 2019年 8月14日 | |
特許 6561148 | 基板処理装置、継手部および半導体装置の製造方法 | 2019年 8月14日 | |
特許 6552780 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び静電シールド | 2019年 7月31日 | |
特許 6553065 | 基板保持具、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2019年 7月31日 | |
特許 6548349 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2019年 7月24日 | |
特許 6548622 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2019年 7月24日 | |
特許 6549074 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 7月24日 |
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6564802 6559618 6559902 6560704 6560767 6560818 6560924 6560991 6561001 6561148 6552780 6553065 6548349 6548622 6549074
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