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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第283位 135件 (2020年:第332位 110件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第250位 116件 (2020年:第276位 101件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6815527 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年 1月20日 | |
特許 6815529 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2021年 1月20日 | |
特許 6817845 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 1月20日 | |
特許 6818087 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、記録媒体およびプログラム | 2021年 1月20日 | |
特許 6814057 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 1月13日 | |
特許 6806419 | 貯留容器、気化器、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2021年 1月 6日 | |
特許 6806719 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 1月 6日 | |
特許 6806721 | 半導体装置の製造方法、基板処理システムおよびプログラム | 2021年 1月 6日 | |
特許 6806861 | 温度センサ、基板処理装置、および半導体装置の製造方法 | 2021年 1月 6日 | |
特許 6807420 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 1月 6日 | |
特許 6807458 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 1月 6日 |
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6815527 6815529 6817845 6818087 6814057 6806419 6806719 6806721 6806861 6807420 6807458
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11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月26日(火) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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