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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第117位 374件
(2015年:第145位 329件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第147位 240件
(2015年:第163位 189件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5962981 | 基板回転保持装置および基板処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5963075 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5963298 | 基板処理装置およびヒータ洗浄方法 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5964567 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5964626 | 熱処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5964630 | 熱処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5965122 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5965304 | 塗布装置 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5958950 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5961505 | 変換時間予測装置、プログラムおよび変換時間予測方法 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5961509 | 塗布液流量の調節方法、および塗布装置 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5954776 | 基板処理装置 | 2016年 7月20日 | |
特許 5954862 | 基板処理装置 | 2016年 7月20日 | |
特許 5955601 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年 7月20日 | |
特許 5955604 | 熱処理装置および熱処理方法 | 2016年 7月20日 |
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5962981 5963075 5963298 5964567 5964626 5964630 5965122 5965304 5958950 5961505 5961509 5954776 5954862 5955601 5955604
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