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株式会社SCREENホールディングス

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  2016年 出願公開件数ランキング    第117位 374件 上昇2015年:第145位 329件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第147位 240件 上昇2015年:第163位 189件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5962981 基板回転保持装置および基板処理装置 2016年 8月 3日
特許 5963075 基板処理方法および基板処理装置 2016年 8月 3日
特許 5963298 基板処理装置およびヒータ洗浄方法 2016年 8月 3日
特許 5964567 熱処理方法および熱処理装置 2016年 8月 3日
特許 5964626 熱処理装置 2016年 8月 3日
特許 5964630 熱処理装置 2016年 8月 3日
特許 5965122 熱処理方法および熱処理装置 2016年 8月 3日
特許 5965304 塗布装置 2016年 8月 3日
特許 5958950 基板処理方法および基板処理装置 2016年 8月 2日
特許 5961505 変換時間予測装置、プログラムおよび変換時間予測方法 2016年 8月 2日
特許 5961509 塗布液流量の調節方法、および塗布装置 2016年 8月 2日
特許 5954776 基板処理装置 2016年 7月20日
特許 5954862 基板処理装置 2016年 7月20日
特許 5955601 基板処理装置および基板処理方法 2016年 7月20日
特許 5955604 熱処理装置および熱処理方法 2016年 7月20日

246 件中 106-120 件を表示

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5962981 5963075 5963298 5964567 5964626 5964630 5965122 5965304 5958950 5961505 5961509 5954776 5954862 5955601 5955604

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