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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7465164 | 基板処理方法 | 2024年 4月10日 | |
特許 7463154 | 描画装置、データ処理装置、描画方法、および描画データ生成方法 | 2024年 4月 8日 | |
特許 7462503 | 塗布装置 | 2024年 4月 5日 | |
特許 7461842 | 基板洗浄装置およびそれを備える基板処理装置 | 2024年 4月 4日 | |
特許 7461190 | インクジェット印刷装置 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461214 | 熱処理装置 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461240 | 位置検出装置、描画システムおよび位置検出方法 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461269 | 基板処理装置 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461288 | 基板処理装置、洗浄ユニット、および、多連弁洗浄方法 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461529 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7460381 | データ処理方法、データ処理装置およびプログラム | 2024年 4月 2日 | |
特許 7460391 | 学習装置、画像検査装置、プログラム、および学習方法 | 2024年 4月 2日 | |
特許 7460394 | 熱処理方法 | 2024年 4月 2日 | |
特許 7460411 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 4月 2日 | |
特許 7460448 | 基板処理方法、および、基板処理装置 | 2024年 4月 2日 |
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7465164 7463154 7462503 7461842 7461190 7461214 7461240 7461269 7461288 7461529 7460381 7460391 7460394 7460411 7460448
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