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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7288756 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月 8日 | |
特許 7288832 | 回転駆動装置 | 2023年 6月 8日 | |
特許 7288834 | 成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月 8日 | |
特許 7288336 | アライメントシステム、成膜装置、アライメント方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月 7日 | |
特許 7278541 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月22日 | |
特許 7278193 | 成膜装置 | 2023年 5月19日 | |
特許 7271242 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月11日 | |
特許 7271389 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月11日 | |
特許 7271740 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月11日 | |
特許 7269000 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム | 2023年 5月 8日 | |
特許 7265336 | 搬送装置、成膜装置、有機EL素子の製造システム、および有機EL素子の製造方法 | 2023年 4月26日 | |
特許 7262212 | 成膜装置、成膜方法および電子デバイスを製造する方法 | 2023年 4月21日 | |
特許 7262221 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月21日 | |
特許 7262647 | 成膜装置及び成膜装置の制御方法 | 2023年 4月21日 | |
特許 7253352 | 成膜装置、下地膜形成方法、および成膜方法 | 2023年 4月 6日 |
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7288756 7288832 7288834 7288336 7278541 7278193 7271242 7271389 7271740 7269000 7265336 7262212 7262221 7262647 7253352
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11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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