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キヤノントッキ株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第321位 99件 上昇2022年:第417位 70件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7288756 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 6月 8日
特許 7288832 回転駆動装置 2023年 6月 8日
特許 7288834 成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2023年 6月 8日
特許 7288336 アライメントシステム、成膜装置、アライメント方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 6月 7日
特許 7278541 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月22日
特許 7278193 成膜装置 2023年 5月19日
特許 7271242 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月11日
特許 7271389 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2023年 5月11日
特許 7271740 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月11日
特許 7269000 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム 2023年 5月 8日
特許 7265336 搬送装置、成膜装置、有機EL素子の製造システム、および有機EL素子の製造方法 2023年 4月26日
特許 7262212 成膜装置、成膜方法および電子デバイスを製造する方法 2023年 4月21日
特許 7262221 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月21日
特許 7262647 成膜装置及び成膜装置の制御方法 2023年 4月21日
特許 7253352 成膜装置、下地膜形成方法、および成膜方法 2023年 4月 6日

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7288756 7288832 7288834 7288336 7278541 7278193 7271242 7271389 7271740 7269000 7265336 7262212 7262221 7262647 7253352

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