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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7314210 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット | 2023年 7月25日 | |
特許 7309773 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月18日 | |
特許 7308677 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月14日 | |
特許 7304261 | 成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月 6日 | |
特許 7301578 | 成膜装置及び成膜方法 | 2023年 7月 3日 | |
特許 7301894 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月 3日 | |
特許 7301896 | 成膜装置、成膜装置の制御方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月 3日 | |
特許 7299725 | 成膜装置、成膜システム | 2023年 6月28日 | |
特許 7299202 | 成膜装置、基板吸着方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月27日 | |
特許 7296204 | 成膜装置、有機デバイスの製造装置および有機デバイスの製造方法 | 2023年 6月22日 | |
特許 7296303 | アライメントシステム、成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、および、アライメント装置 | 2023年 6月22日 | |
特許 7290988 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月14日 | |
特許 7291098 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月14日 | |
特許 7291197 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット | 2023年 6月14日 | |
特許 7289421 | 基板支持装置および成膜装置 | 2023年 6月12日 |
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7314210 7309773 7308677 7304261 7301578 7301894 7301896 7299725 7299202 7296204 7296303 7290988 7291098 7291197 7289421
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11月22日(金) -
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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