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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7212662 | 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月25日 | |
特許 7211793 | 蒸発レート測定装置、蒸発レート測定装置の制御方法、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスを製造する方法 | 2023年 1月24日 | |
特許 7202814 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7202815 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7202858 | 基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7202971 | 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7203185 | 真空装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7202168 | 成膜装置、有機ELパネルの製造システム、及び成膜方法 | 2023年 1月11日 | |
特許 7202329 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | 2023年 1月11日 | |
特許 7199889 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 | 2023年 1月 6日 |
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7212662 7211793 7202814 7202815 7202858 7202971 7203185 7202168 7202329 7199889
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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