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キヤノントッキ株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第321位 99件 上昇2022年:第417位 70件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7253367 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月 6日
特許 7252933 蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月 5日
特許 7249863 マスク、マスクの製造方法および電子デバイスの製造方法 2023年 3月31日
特許 7249142 搬送キャリア、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 2023年 3月30日
特許 7246598 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月28日
特許 7247013 アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月28日
特許 7247142 蒸着装置及び蒸発源 2023年 3月28日
特許 7244401 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月22日
特許 7242293 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2023年 3月20日
特許 7242626 成膜装置 2023年 3月20日
特許 7241603 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2023年 3月17日
特許 7241604 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2023年 3月17日
特許 7241048 基板支持装置および成膜装置 2023年 3月16日
特許 7239549 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月14日
特許 7229014 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2023年 2月27日

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7253367 7252933 7249863 7249142 7246598 7247013 7247142 7244401 7242293 7242626 7241603 7241604 7241048 7239549 7229014

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