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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7253367 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月 6日 | |
特許 7252933 | 蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月 5日 | |
特許 7249863 | マスク、マスクの製造方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月31日 | |
特許 7249142 | 搬送キャリア、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 | 2023年 3月30日 | |
特許 7246598 | 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月28日 | |
特許 7247013 | アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月28日 | |
特許 7247142 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2023年 3月28日 | |
特許 7244401 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月22日 | |
特許 7242293 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月20日 | |
特許 7242626 | 成膜装置 | 2023年 3月20日 | |
特許 7241603 | 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月17日 | |
特許 7241604 | 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月17日 | |
特許 7241048 | 基板支持装置および成膜装置 | 2023年 3月16日 | |
特許 7239549 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月14日 | |
特許 7229014 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2023年 2月27日 |
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7253367 7252933 7249863 7249142 7246598 7247013 7247142 7244401 7242293 7242626 7241603 7241604 7241048 7239549 7229014
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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