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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第908位 29件 (2021年:第569位 56件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-89813 | 高性能サセプタ装置 | 2022年 6月16日 | |
特開 2022-87054 | 基材処理装置の反応チャンバー内に配置されるように構成されたインジェクター | 2022年 6月 9日 | |
特開 2022-82514 | インジェクターを伴う基材処理装置およびインジェクター | 2022年 6月 2日 | |
特開 2022-77993 | 反応器および関連する方法 | 2022年 5月24日 | |
特開 2022-68121 | 流動性ギャップ充填のための方法および装置 | 2022年 5月 9日 | |
特開 2022-61961 | ガス供給ユニットおよびガス供給ユニットを含む基材処理装置 | 2022年 4月19日 | |
特開 2022-49682 | 酸化シリコンの堆積方法 | 2022年 3月29日 | |
特開 2022-48124 | プラズマ装置用サセプタアセンブリ | 2022年 3月25日 | |
特開 2022-37915 | 表面を洗浄する方法 | 2022年 3月 9日 | |
特開 2022-20584 | モリブデン層を堆積させるための方法およびシステム | 2022年 2月 1日 | |
特開 2022-20585 | 遷移金属層を備える構造を形成するための方法およびシステム | 2022年 2月 1日 | |
特開 2022-8194 | シリコンを備える層を形成するための方法 | 2022年 1月13日 | |
特開 2022-8195 | モリブデンを含む膜の蒸着 | 2022年 1月13日 | |
特開 2022-3684 | 通気式サセプター | 2022年 1月11日 | |
特開 2022-2301 | 複数ステージの基板処理システム | 2022年 1月 6日 |
30 件中 16-30 件を表示
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2022-89813 2022-87054 2022-82514 2022-77993 2022-68121 2022-61961 2022-49682 2022-48124 2022-37915 2022-20584 2022-20585 2022-8194 2022-8195 2022-3684 2022-2301
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