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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1667位 14件
(2015年:第1323位 19件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1862位 10件
(2015年:第1281位 15件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6053084 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2016年12月27日 | |
特許 6032828 | 同期装置及び検査装置 | 2016年11月30日 | |
特許 6031697 | 検査装置、検査方法及び半導体装置の製造方法 | 2016年11月24日 | |
特許 6031731 | 検査装置及びオートフォーカス方法 | 2016年11月24日 | |
特許 6004126 | 検査装置、及びそのフォーカス調整方法 | 2016年10月 5日 | |
特許 5950473 | レーザ顕微鏡及びスキャナー | 2016年 7月13日 | |
特許 5871242 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | 2016年 3月 1日 | |
特許 5850447 | 検査装置 | 2016年 2月 3日 | |
特許 5843179 | 検査装置、及び波面収差補正方法 | 2016年 1月13日 | |
特許 5843241 | 検査装置、及び検査方法 | 2016年 1月13日 |
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6053084 6032828 6031697 6031731 6004126 5950473 5871242 5850447 5843179 5843241
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4月4日(金) -
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4月11日(金) -
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