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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第1359位 18件
(
2020年:第1238位 20件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2016位 8件
(
2020年:第2756位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6961846 | EUVマスク検査装置、EUVマスク検査方法、EUVマスク検査プログラム及びEUVマスク検査システム | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6953245 | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6940302 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6927790 | 検査方法及び検査装置 | 2021年 9月 1日 | |
| 特許 6923363 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | 2021年 8月18日 | |
| 特許 6906823 | マスク検査方法及びマスク検査装置 | 2021年 7月21日 | |
| 特許 6844776 | 測定装置及び測定方法 | 2021年 3月17日 | |
| 特許 6844798 | 光学装置、及び光学装置の汚染防止方法 | 2021年 3月17日 |
8 件中 1-8 件を表示
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6961846 6953245 6940302 6927790 6923363 6906823 6844776 6844798
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