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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2016年 出願公開件数ランキング    第396位 90件 下降2015年:第339位 112件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第324位 97件 下降2015年:第225位 132件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2016-512913 極端紫外線光源 2016年 5月 9日
特開 2016-66091 モデルベースのプロセスシミュレーション方法 2016年 4月28日
特表 2016-512381 ターゲット材料の供給および回収のための方法ならびに装置 2016年 4月25日
特表 2016-512382 レーザ生成プラズマ極端紫外線光源のターゲット 2016年 4月25日
特表 2016-512383 極端紫外線光源のビーム位置制御 2016年 4月25日
特開 2016-48399 計算プロセス制御 2016年 4月 7日
特表 2016-509688 静電クランプ 2016年 3月31日
特表 2016-509691 リソグラフィ装置のための投影システム、ミラーおよび放射源 2016年 3月31日
特表 2016-509258 リソグラフィ装置及び方法 2016年 3月24日
特表 2016-509270 EUVリソグラフィー用の光学素子及び光学系、及びこの光学系を処理する方法 2016年 3月24日
特表 2016-509343 極端紫外線光源用熱監視装置 2016年 3月24日
特表 2016-509363 EUVリソグラフィ装置用ビーム搬送装置 2016年 3月24日
特表 2016-508236 レチクルステージ環境におけるガス流れ最適化 2016年 3月17日
特表 2016-507763 リソグラフィ装置のための基板サポート及びリソグラフィ装置 2016年 3月10日
特表 2016-507786 三次元パターニングデバイス用リソグラフィモデル 2016年 3月10日

93 件中 61-75 件を表示

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2016-512913 2016-66091 2016-512381 2016-512382 2016-512383 2016-48399 2016-509688 2016-509691 2016-509258 2016-509270 2016-509343 2016-509363 2016-508236 2016-507763 2016-507786

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