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ギガフォトン株式会社

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  2012年 特許取得件数ランキング    第1187位 23件 上昇2011年:第2071位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5108367 極端紫外光源装置 2012年12月26日
特許 5110634 レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 2012年12月26日
特許 5110633 レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 2012年12月26日
特許 5100990 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びLPP型極端紫外光源装置 2012年12月19日
特許 5096035 光学的パルスストレッチ装置及び露光用放電励起レーザ装置 2012年12月12日
特許 5098019 極端紫外光源装置 2012年12月12日
特許 5086664 極端紫外光源装置 2012年11月28日
特許 5086677 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ 2012年11月28日
特許 5076087 極端紫外光源装置及びノズル保護装置 2012年11月21日
特許 5075951 極端紫外光源装置及びドライバレーザシステム 2012年11月21日 共同出願
特許 5075389 極端紫外光源装置 2012年11月21日
特許 5076078 極端紫外光源装置 2012年11月21日
特許 5076079 極端紫外光源装置 2012年11月21日
特許 5075775 パルスレーザ用電源装置 2012年11月21日 共同出願
特許 5061063 極端紫外光用ミラーおよび極端紫外光源装置 2012年10月31日

23 件中 1-15 件を表示

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5108367 5110634 5110633 5100990 5096035 5098019 5086664 5086677 5076087 5075951 5075389 5076078 5076079 5075775 5061063

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