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(2011年:第1852位 12件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5108367 | 極端紫外光源装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5110634 | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 | 2012年12月26日 | |
特許 5110633 | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 | 2012年12月26日 | |
特許 5100990 | 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びLPP型極端紫外光源装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5096035 | 光学的パルスストレッチ装置及び露光用放電励起レーザ装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5098019 | 極端紫外光源装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5086664 | 極端紫外光源装置 | 2012年11月28日 | |
特許 5086677 | 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ | 2012年11月28日 | |
特許 5076087 | 極端紫外光源装置及びノズル保護装置 | 2012年11月21日 | |
特許 5075951 | 極端紫外光源装置及びドライバレーザシステム | 2012年11月21日 | 共同出願 |
特許 5075389 | 極端紫外光源装置 | 2012年11月21日 | |
特許 5076078 | 極端紫外光源装置 | 2012年11月21日 | |
特許 5076079 | 極端紫外光源装置 | 2012年11月21日 | |
特許 5075775 | パルスレーザ用電源装置 | 2012年11月21日 | 共同出願 |
特許 5061063 | 極端紫外光用ミラーおよび極端紫外光源装置 | 2012年10月31日 |
23 件中 1-15 件を表示
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5108367 5110634 5110633 5100990 5096035 5098019 5086664 5086677 5076087 5075951 5075389 5076078 5076079 5075775 5061063
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