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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5833806	極端紫外光源装置、極端紫外光源装置用レーザ光源装置及び極端紫外光源装置用レーザ光源の調整方法	2015年12月16日
特許 5820689	レーザ装置	2015年11月24日
特許 5816440	光学装置、レーザ装置および極端紫外光生成装置	2015年11月18日
特許 5818528	極端紫外光生成装置	2015年11月18日
特許 5802410	極端紫外光生成装置	2015年10月28日
特許 5802465	ドロップレット生成及び検出装置、並びにドロップレット制御装置	2015年10月28日
特許 5789443	ターゲット供給装置、そのノズルのクリーニング機構、および、そのノズルのクリーニング方法	2015年10月 7日
特許 5765730	極端紫外光生成装置	2015年 8月19日
特許 5765759	極端紫外光生成装置および方法	2015年 8月19日
特許 5758569	スラブ型レーザ装置	2015年 8月 5日
特許 5758662	極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成方法	2015年 8月 5日
特許 5758750	極端紫外光生成システム	2015年 8月 5日
特許 5748205	ウィンドウユニット、ウィンドウ装置、レーザ装置及び極端紫外光生成装置	2015年 7月15日
特許 5739099	ターゲット供給装置、その制御システム、その制御装置およびその制御回路	2015年 6月24日
特許 5740190	レーザシステムおよびレーザ生成方法	2015年 6月24日

32 件中 1-15 件を表示

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5833806 5820689 5816440 5818528 5802410 5802465 5789443 5765730 5765759 5758569 5758662 5758750 5748205 5739099 5740190

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