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日新イオン機器株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1043位 26件 上昇2013年:第1216位 24件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1674位 14件 下降2013年:第1187位 22件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5634992 イオンビーム照射装置及びイオンビーム発散抑制方法 2014年12月 3日 共同出願
特許 5589916 スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置 2014年 9月17日
特許 5585788 イオン注入装置 2014年 9月10日
特許 5545452 プラズマ閉じ込め容器およびこれを備えたイオン源 2014年 7月 9日
特許 5545287 エネルギー線照射装置及びワーク搬送機構 2014年 7月 9日
特許 5534359 スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置 2014年 6月25日
特許 5527617 イオン源 2014年 6月18日
特許 5504980 ウエハリフト回転機構、ステージ装置及びイオン注入装置 2014年 5月28日
特許 5505731 イオン源 2014年 5月28日
特許 5495138 イオン源 2014年 5月21日
特許 5500500 非対称なアインツェルレンズを有するビーム偏向器を備えたイオン注入装置 2014年 5月21日
特許 5477133 ウェーハハンドリング方法およびイオン注入装置 2014年 4月23日
特許 5477652 イオン注入方法及びイオン注入装置 2014年 4月23日
特許 5446674 プラズマ源およびそれを備えるイオン源 2014年 3月19日

14 件中 1-14 件を表示

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5634992 5589916 5585788 5545452 5545287 5534359 5527617 5504980 5505731 5495138 5500500 5477133 5477652 5446674

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