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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1586位 15件
(2015年:第1659位 14件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1730位 11件
(2015年:第1611位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6048829 | イオン源 | 2016年12月21日 | |
特許 6036743 | イオン注入装置 | 2016年11月30日 | |
特許 6025047 | イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 | 2016年11月16日 | |
特許 6028515 | イオンビーム照射装置 | 2016年11月16日 | |
特許 5974645 | イオンビーム照射装置 | 2016年 8月23日 | |
特許 5975418 | イオン注入方法 | 2016年 8月23日 | |
特許 5971556 | 静電チャックおよび静電チャックモジュール | 2016年 8月17日 | |
特許 5950164 | 基板ホルダ | 2016年 7月13日 | |
特許 5912455 | 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5903930 | 基板搬送装置及び当該基板搬送装置を用いた半導体製造装置 | 2016年 4月13日 | |
特許 5863153 | イオン注入装置 | 2016年 2月16日 |
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6048829 6036743 6025047 6028515 5974645 5975418 5971556 5950164 5912455 5903930 5863153
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4月9日(水) -
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