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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第1976位 11件
(2022年:第1878位 12件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1516位 13件
(2022年:第2054位 9件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7406749 | 加熱装置 | 2023年12月28日 | |
特許 7389954 | イオンビーム照射装置の運転方法、イオンビーム照射装置 | 2023年12月 1日 | |
特許 7385809 | イオンビーム照射装置のクリーニング方法 | 2023年11月24日 | |
特許 7378700 | 基板処理装置 | 2023年11月14日 | |
特許 7371662 | ウエハ搬送装置 | 2023年10月31日 | |
特許 7332985 | 除電装置およびフラットパネルディスプレイ製造装置 | 2023年 8月24日 | |
特許 7325723 | イオン源移動装置およびイオン注入装置 | 2023年 8月15日 | |
特許 7315905 | 基板移送装置 | 2023年 7月27日 | |
特許 7284464 | イオンビーム照射装置 | 2023年 5月31日 | |
特許 7275470 | 基板冷却装置 | 2023年 5月18日 | |
特許 7276671 | 水素供給装置およびこれを備えたイオンビーム照射装置 | 2023年 5月18日 | |
特許 7223289 | 搬送装置 | 2023年 2月16日 | |
特許 7209318 | フラットパネルディスプレイ製造装置 | 2023年 1月20日 |
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7406749 7389954 7385809 7378700 7371662 7332985 7325723 7315905 7284464 7275470 7276671 7223289 7209318
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