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日新イオン機器株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1043位 26件 上昇2013年:第1216位 24件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1674位 14件 下降2013年:第1187位 22件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-203713 エネルギー線照射システム及びワーク搬送機構 2014年10月27日
特開 2014-183040 イオン源、その運転方法および電子銃 2014年 9月29日
特開 2014-183042 リボンイオンビームのエネルギーを変更するためのシステムおよびイオン注入システム 2014年 9月29日
特開 2014-183041 イオン源および磁界発生方法 2014年 9月29日
特開 2014-175527 基板位置検出システムおよびこれを備えた半導体製造装置 2014年 9月22日
特開 2014-175222 イオンビーム加速機構及びイオンビーム照射装置 2014年 9月22日
特開 2014-165283 イオンビーム照射装置及び基板冷却方法 2014年 9月 8日
特開 2014-164891 イオンビーム照射装置及び基板冷却方法 2014年 9月 8日
特開 2014-164856 イオンビーム照射装置 2014年 9月 8日
特開 2014-143110 イオン注入装置 2014年 8月 7日
特開 2014-137901 イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 2014年 7月28日
特開 2014-137899 イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 2014年 7月28日
特開 2014-127373 イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 2014年 7月 7日
特開 2014-120347 イオンビーム照射装置およびイオンビーム照射装置の運転方法 2014年 6月30日
特開 2014-120596 イオン注入装置 2014年 6月30日

26 件中 1-15 件を表示

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2014-203713 2014-183040 2014-183042 2014-183041 2014-175527 2014-175222 2014-165283 2014-164891 2014-164856 2014-143110 2014-137901 2014-137899 2014-127373 2014-120347 2014-120596

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