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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1043位 26件 (2013年:第1216位 24件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-203713 | エネルギー線照射システム及びワーク搬送機構 | 2014年10月27日 | |
特開 2014-183040 | イオン源、その運転方法および電子銃 | 2014年 9月29日 | |
特開 2014-183042 | リボンイオンビームのエネルギーを変更するためのシステムおよびイオン注入システム | 2014年 9月29日 | |
特開 2014-183041 | イオン源および磁界発生方法 | 2014年 9月29日 | |
特開 2014-175527 | 基板位置検出システムおよびこれを備えた半導体製造装置 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175222 | イオンビーム加速機構及びイオンビーム照射装置 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-165283 | イオンビーム照射装置及び基板冷却方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-164891 | イオンビーム照射装置及び基板冷却方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-164856 | イオンビーム照射装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-143110 | イオン注入装置 | 2014年 8月 7日 | |
特開 2014-137901 | イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 | 2014年 7月28日 | |
特開 2014-137899 | イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 | 2014年 7月28日 | |
特開 2014-127373 | イオン注入装置およびイオン注入装置の運転方法 | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-120347 | イオンビーム照射装置およびイオンビーム照射装置の運転方法 | 2014年 6月30日 | |
特開 2014-120596 | イオン注入装置 | 2014年 6月30日 |
26 件中 1-15 件を表示
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2014-203713 2014-183040 2014-183042 2014-183041 2014-175527 2014-175222 2014-165283 2014-164891 2014-164856 2014-143110 2014-137901 2014-137899 2014-127373 2014-120347 2014-120596
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