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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1878位 12件
(2021年:第2162位 10件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2054位 9件
(2021年:第2213位 7件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7163944
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基板保持装置およびイオン注入装置 | 2022年11月 1日 | |
特許 7116367
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イオン注入装置 | 2022年 8月10日 | |
特許 7111084
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イオンビーム照射装置及びイオンビーム照射装置用プログラム | 2022年 8月 2日 | |
特許 7104898
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イオン源およびそのクリーニング方法 | 2022年 7月22日 | |
特許 7093506
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イオン源及びイオン注入機 | 2022年 6月30日 | |
特許 7079430
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イオン注入装置およびイオン注入方法 | 2022年 6月 2日 | |
特許 7037126
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ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置 | 2022年 3月16日 | |
特許 7029633
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イオン源、イオン注入装置 | 2022年 3月 4日 | |
特許 7011788
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静電チャック | 2022年 1月27日 |
9 件中 1-9 件を表示
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7163944 7116367 7111084 7104898 7093506 7079430 7037126 7029633 7011788
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3月24日(月) -
3月25日(火) - 東京 品川区
3月25日(火) -
3月26日(水) - 東京 港区
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月24日(月) -
4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
4月4日(金) -
4月1日(火) - 山口 山口市
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