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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7163944 | 基板保持装置およびイオン注入装置 | 2022年11月 1日 | |
特許 7116367 | イオン注入装置 | 2022年 8月10日 | |
特許 7111084 | イオンビーム照射装置及びイオンビーム照射装置用プログラム | 2022年 8月 2日 | |
特許 7104898 | イオン源およびそのクリーニング方法 | 2022年 7月22日 | |
特許 7093506 | イオン源及びイオン注入機 | 2022年 6月30日 | |
特許 7079430 | イオン注入装置およびイオン注入方法 | 2022年 6月 2日 | |
特許 7037126 | ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置 | 2022年 3月16日 | |
特許 7029633 | イオン源、イオン注入装置 | 2022年 3月 4日 | |
特許 7011788 | 静電チャック | 2022年 1月27日 |
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7163944 7116367 7111084 7104898 7093506 7079430 7037126 7029633 7011788
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