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日新イオン機器株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第1878位 12件 上昇2021年:第2162位 10件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第2054位 9件 上昇2021年:第2213位 7件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7163944 基板保持装置およびイオン注入装置 2022年11月 1日
特許 7116367 イオン注入装置 2022年 8月10日
特許 7111084 イオンビーム照射装置及びイオンビーム照射装置用プログラム 2022年 8月 2日
特許 7104898 イオン源およびそのクリーニング方法 2022年 7月22日
特許 7093506 イオン源及びイオン注入機 2022年 6月30日
特許 7079430 イオン注入装置およびイオン注入方法 2022年 6月 2日
特許 7037126 ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置 2022年 3月16日
特許 7029633 イオン源、イオン注入装置 2022年 3月 4日
特許 7011788 静電チャック 2022年 1月27日

9 件中 1-9 件を表示

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7163944 7116367 7111084 7104898 7093506 7079430 7037126 7029633 7011788

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