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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1925位 11件
(
2017年:第2121位 11件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1497位 12件
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2017年:第1441位 13件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6439966 | イオン源 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6428726 | イオン注入システム | 2018年11月28日 | |
| 特許 6418262 | イオンビーム照射装置、イオン源の着脱方法 | 2018年11月 7日 | |
| 特許 6414763 | イオンビーム照射装置 | 2018年10月31日 | |
| 特許 6376236 | 加熱装置、半導体製造装置 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6350234 | イオンビーム照射装置及びこれに用いられるプログラム | 2018年 7月 4日 | |
| 特許 6347414 | 質量分析電磁石 | 2018年 6月27日 | |
| 特許 6330785 | 絶縁スペーサ、電極体、荷電粒子源および荷電粒子ビーム照射装置 | 2018年 5月30日 | |
| 特許 6307825 | 防着板支持部材、プラズマ源およびイオンビーム照射装置 | 2018年 4月11日 | |
| 特許 6296189 | 加熱装置、半導体製造装置 | 2018年 3月20日 | |
| 特許 6281257 | リボンイオンビームのエネルギーを変更するためのシステム | 2018年 2月21日 | |
| 特許 6268680 | イオン源の運転方法 | 2018年 1月31日 |
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6439966 6428726 6418262 6414763 6376236 6350234 6347414 6330785 6307825 6296189 6281257 6268680
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