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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1878位 12件 (2021年:第2162位 10件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-172668 | イオンビーム照射装置 | 2022年11月17日 | |
特開 2022-169880 | ウエハ支持装置 | 2022年11月10日 | |
特開 2022-169079 | ウエハ搬送装置 | 2022年11月 9日 | |
特開 2022-167278 | イオン源 | 2022年11月 4日 | |
特開 2022-165477 | ウエハ支持装置 | 2022年11月 1日 | |
特開 2022-122125 | 電子源およびイオン源 | 2022年 8月22日 | |
特開 2022-104062 | ホローカソードおよびイオン源 | 2022年 7月 8日 | |
特開 2022-94047 | イオン注入装置 | 2022年 6月24日 | |
特開 2022-92639 | イオン源 | 2022年 6月23日 | |
特開 2022-53034 | 搬送装置 | 2022年 4月 5日 | |
特開 2022-49639 | 放電検出方法、プラズマ安定化判別方法及びイオンビーム照射装置 | 2022年 3月29日 | |
特開 2022-48909 | 基板保持装置およびイオン注入装置 | 2022年 3月28日 |
12 件中 1-12 件を表示
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2022-172668 2022-169880 2022-169079 2022-167278 2022-165477 2022-122125 2022-104062 2022-94047 2022-92639 2022-53034 2022-49639 2022-48909
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